ИК фурье-спектрометр ФСМ 1201П представляет собой специализированный автоматизированный измерительный комплекс на основе универсального фурье-спектрометра ФСМ 1201. Он снабжен двухкоординатным измерительным столом и позволяет в автоматическом режиме измерять параметры кремниевых пластин в заданных оператором точках для пластин диаметром до 200 мм.
ИК фурье-спектрометрия является эффективным инструментом неразрушающего контроля полупроводниковых пластин и структур, что закреплено международно признанными стандартами ASTM F1188 и F1391, определяющими методы измерения концентрации междуузельного кислорода и углерода замещения в кремнии, ASTM F95, определяющим метод измерения толщины эпитаксиальных слоев для структур типа n n+ или p p+ и др. Возможно определение состава слоев ФСС и БФСС, а также параметров диэлектрических слоев.
Прибор зарегистрирован в Государственном реестре средств измерений No18895-99.
Основные контролируемые параметры
Достоинства метода фурье-спектроскопии
Спектры ИК поглощения пластин кремния со слоями ФСС и БФСС. | |
Концентрация фосфора в слое ФСС 9.6%, концентрация бора и фосфора в слое БФСС, соответственно, 4.3% и 3.9%. Толщина слоя около 1 мкм.
Спектральное разрешение 4 см1, время измерения 30 с. |
ОСНОВНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ СПЕКТРОМЕТРА
Спектральный диапазон | 400...7800 см1 |
Спектральное разрешение | 1, 2, 4 см1 |
Диаметр светового пятна на образце | 6 мм |
Размеры пластин | 76, 100, 125, 150, 200 мм |
Точность позиционирования стола | 0.5 мм |
Время стандартного измерения в одной точке | 30...60 с |
Потребляемая мощность | 95 Вт |
Размеры спектрометра | 67x65x25 см |
Вес спектрометра | 37 кг |
Спектры ИК поглощения пластины кремния, содержащей примеси междуузельного кислорода и углерода замещения. | |
"Разность" получена вычитанием поглощения "чистого" кремния, имеющего возможно более низкую концентрацию примесей.
Спектральное разрешение 4 см1, время измерения 30 с. |
Приставка для измерения пропускания пластин кремния диаметром до 200 мм Приставка зеркального отражения 10 град. для пластин кремния диаметром до 200 мм
Выполняется разработка методик и программного обеспечения, по техническому заданию Заказчика.